XNC-LT2型單晶少子壽命測試儀

XNC-LT2型單晶少子壽命測試儀是參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的用于測量硅單晶的非平衡少數(shù)載流子壽命。半導(dǎo)體材料的少數(shù)載流子壽命測量，是半導(dǎo)體的常規(guī)測試項(xiàng)目之一。本儀器靈敏度較高，配備有紅外光源，可測量包括集成電路級硅單晶在內(nèi)的各種類型硅單晶，以及經(jīng)熱處理后壽命驟降的硅單晶、多晶磷檢棒的壽命測量等。

   本儀器根據(jù)國際通用方法高頻光電導(dǎo)衰退法的原理設(shè)計(jì)，由穩(wěn)壓電源、高頻源、檢波放大器，特制的InGaAsp／InP紅外光源及樣品臺(tái)共五部份組成。采用印刷電路和高頻接插連接。整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊、測量數(shù)據(jù)可靠。

技　術(shù)　指　標(biāo) ：

 測試單晶電阻率范圍  >2Ω.cm

 可測單晶少子壽命范圍       5μS～7000μS

 配備光源類型       波長：1.09μm；余輝<1 μS；

 閃光頻率為：20～30次／秒；

 閃光頻率為：20～30次／秒；

 高頻振蕩源  用石英諧振器，振蕩頻率：30MHz

 前置放大器  放大倍數(shù)約25，頻寬2 Hz-1 MHz

 儀器測量重復(fù)誤差       <±20％

 測量方式       采用對標(biāo)準(zhǔn)曲線讀數(shù)方式

 儀器消耗功率       <25W

 儀器工作條件       溫度： 10-35℃、 濕度 < 80％、使用電源：AC 220V，50Hz

 可測單晶尺寸       斷面豎測：φ25mm—150mm； L 2mm—500mm；

 縱向臥測：φ25mm—150mm； L 50mm—800mm；

 配用示波器  頻寬0—20MHz；

 電壓靈敏：10mV／cm；