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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>光學(xué)測量儀>橢偏儀>SENpro Sentech多層膜厚測量儀

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SENpro Sentech多層膜厚測量儀

參考價(jià) 700000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京伊微視科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 SENpro
  • 產(chǎn)地 德國
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2021/4/19 14:25:41
  • 訪問次數(shù) 2245
產(chǎn)品標(biāo)簽

橢偏儀膜厚儀薄膜測量sentech

聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


  北京伊微視科技有限公司成立于2020年,是一家實(shí)驗(yàn)室設(shè)備*和測試服務(wù)的供應(yīng)商。專注于高精度形貌檢測設(shè)備及耗材,便攜式現(xiàn)場偵檢設(shè)備,測試服務(wù)。

  伊微視依托在各高校及科研單位的服務(wù)經(jīng)驗(yàn),為客戶提供更合適的設(shè)備及技術(shù)服務(wù)。公司主要產(chǎn)品有韓國帕克原子力顯微鏡,美國Zygo表面輪廓儀,PE ICP-MS,各品牌AFM探針及云母片,及個(gè)性化科研測試服務(wù),如FIB測試,TERS測試等。

  伊微視專注于開發(fā)更多優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品,更專業(yè)的技術(shù)服務(wù)。致力于成為微納形貌設(shè)備及測試的有鮮明特色的供應(yīng)商。

AFM,ICP-MS,光學(xué)輪廓儀

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 50萬-80萬
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子

Sentech多層膜厚測量儀SENpro

Sentech多層膜厚測量儀SENpro具有操作簡單,測量速度快,能對不同入射角的橢偏測量數(shù)據(jù)進(jìn)行組合分析等特點(diǎn)。可測量1nm~15μm的薄膜。SENpro的光譜范圍與精密的SpectraRay/4軟件相結(jié)合,可以輕易地確定單層膜和復(fù)合層疊膜的厚度和折射率。

步進(jìn)掃描分析器

Sentech多層膜厚測量儀SENpro具有*的步進(jìn)掃描分析器。在數(shù)據(jù)采集過程中,偏振器和補(bǔ)償器固定,以提供高的橢偏測量精度。

具有成本效益的桌面式SENpro包括可見光到近紅外橢偏儀光學(xué),5°步進(jìn)角度計(jì),樣品臺、激光準(zhǔn)直器、光纖耦合穩(wěn)定光源和探測器單元。

可變?nèi)肷浣?/font>

光譜橢偏儀SENpro包括可變?nèi)肷浣堑慕嵌扔?jì),40°—90°,步進(jìn)值5°,用于優(yōu)化橢偏測量。

SENpro配備了用于系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析的光譜橢偏儀軟件SpectraRay/4 ,用于包括建模,擬合和報(bào)告輸出。即使對于初學(xué)者,該程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持計(jì)算機(jī)控制的用于均勻性測量的自動(dòng)掃描。

SENpro專注于薄膜測量的速度和精度,不管是何種薄膜應(yīng)用。測量范圍從1 nm的薄層膜到15 μm的厚層膜。

對于各種各樣的應(yīng)用,SpectraRay/4都提供了預(yù)定義的配方。

可見光-近紅外段的光譜橢偏儀

光譜范圍:370 nm - 1050 nm

測量單層/多層膜的膜厚、折射率、消光系數(shù)

全光譜范圍測量時(shí)間<10秒(>500個(gè)波長點(diǎn))可變?nèi)肷浣牵?0 - 90°,步進(jìn)值5°

高穩(wěn)定光源

步進(jìn)掃描起偏器

寬帶補(bǔ)償器

激光準(zhǔn)直器

可調(diào)高度/俯仰樣品臺

光電二極管陣列探測器

SpectraRay /4橢偏測量/分析軟件

可選項(xiàng):

Mapping自動(dòng)掃描:50 x50-200 x 200 mm2

自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡ACT

 

軟件SpectraRay/4

建模

測量參數(shù)可以模擬作為波長、光子能量、倒數(shù)厘米、入射角、時(shí)間、溫度、薄膜厚度測量和其他參數(shù)的函數(shù)

自動(dòng)掃描

我們光譜橢偏儀的自動(dòng)掃描的選項(xiàng)具有預(yù)定義或用戶定義的模式、廣泛的統(tǒng)計(jì)以及數(shù)據(jù)的圖形顯示,如2D顏色、灰度、輪廓、+/-偏離平均值和3D繪圖。

 

交互模式

設(shè)定測量參數(shù)并開始薄膜厚度測量

通過從材料庫或從已有的散射模型中拖放來構(gòu)建模型

定義和改變參數(shù)以將計(jì)算的光譜與實(shí)測光譜擬合

交互式改進(jìn)以實(shí)現(xiàn)模型

通過從預(yù)定義或定制的模板中進(jìn)行選擇,將結(jié)果作為word文檔報(bào)告輸出

將所有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、協(xié)議和記錄保存在同一個(gè)實(shí)驗(yàn)文件中

配方模式

1.選擇

2.從材料庫執(zhí)行預(yù)定義的配方。

該配方包括厚度測量參數(shù)、模型、擬合參數(shù)和報(bào)告模板。

 



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