SENpro Sentech多層膜厚測量儀
參考價(jià) | ¥ 700000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 北京伊微視科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 SENpro
- 產(chǎn)地 德國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2021/4/19 14:25:41
- 訪問次數(shù) 2245
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 50萬-80萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子 |
Sentech多層膜厚測量儀SENpro
Sentech多層膜厚測量儀SENpro具有操作簡單,測量速度快,能對不同入射角的橢偏測量數(shù)據(jù)進(jìn)行組合分析等特點(diǎn)。可測量1nm~15μm的薄膜。SENpro的光譜范圍與精密的SpectraRay/4軟件相結(jié)合,可以輕易地確定單層膜和復(fù)合層疊膜的厚度和折射率。
步進(jìn)掃描分析器
Sentech多層膜厚測量儀SENpro具有*的步進(jìn)掃描分析器。在數(shù)據(jù)采集過程中,偏振器和補(bǔ)償器固定,以提供高的橢偏測量精度。
具有成本效益的桌面式SENpro包括可見光到近紅外橢偏儀光學(xué),5°步進(jìn)角度計(jì),樣品臺、激光準(zhǔn)直器、光纖耦合穩(wěn)定光源和探測器單元。
可變?nèi)肷浣?/font>
光譜橢偏儀SENpro包括可變?nèi)肷浣堑慕嵌扔?jì),40°—90°,步進(jìn)值5°,用于優(yōu)化橢偏測量。
SENpro配備了用于系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析的光譜橢偏儀軟件SpectraRay/4 ,用于包括建模,擬合和報(bào)告輸出。即使對于初學(xué)者,該程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持計(jì)算機(jī)控制的用于均勻性測量的自動(dòng)掃描。
SENpro專注于薄膜測量的速度和精度,不管是何種薄膜應(yīng)用。測量范圍從1 nm的薄層膜到15 μm的厚層膜。
對于各種各樣的應(yīng)用,SpectraRay/4都提供了預(yù)定義的配方。
可見光-近紅外段的光譜橢偏儀
光譜范圍:370 nm - 1050 nm
測量單層/多層膜的膜厚、折射率、消光系數(shù)
全光譜范圍測量時(shí)間<10秒(>500個(gè)波長點(diǎn))可變?nèi)肷浣牵?0 - 90°,步進(jìn)值5°
高穩(wěn)定光源
步進(jìn)掃描起偏器
寬帶補(bǔ)償器
激光準(zhǔn)直器
可調(diào)高度/俯仰樣品臺
光電二極管陣列探測器
SpectraRay /4橢偏測量/分析軟件
可選項(xiàng):
Mapping自動(dòng)掃描:50 x50-200 x 200 mm2
自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡ACT
軟件SpectraRay/4
建模
測量參數(shù)可以模擬作為波長、光子能量、倒數(shù)厘米、入射角、時(shí)間、溫度、薄膜厚度測量和其他參數(shù)的函數(shù)
自動(dòng)掃描
我們光譜橢偏儀的自動(dòng)掃描的選項(xiàng)具有預(yù)定義或用戶定義的模式、廣泛的統(tǒng)計(jì)以及數(shù)據(jù)的圖形顯示,如2D顏色、灰度、輪廓、+/-偏離平均值和3D繪圖。
交互模式
設(shè)定測量參數(shù)并開始薄膜厚度測量
通過從材料庫或從已有的散射模型中拖放來構(gòu)建模型
定義和改變參數(shù)以將計(jì)算的光譜與實(shí)測光譜擬合
交互式改進(jìn)以實(shí)現(xiàn)模型
通過從預(yù)定義或定制的模板中進(jìn)行選擇,將結(jié)果作為word文檔報(bào)告輸出
將所有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、協(xié)議和記錄保存在同一個(gè)實(shí)驗(yàn)文件中
配方模式
1.選擇
2.從材料庫執(zhí)行預(yù)定義的配方。
該配方包括厚度測量參數(shù)、模型、擬合參數(shù)和報(bào)告模板。