EVG540-晶圓鍵合自動(dòng)化系統(tǒng)
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
- 品牌 EVG
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/11/9 12:57:50
- 訪問(wèn)次數(shù) 4964
自動(dòng)晶圓鍵合對(duì)準(zhǔn)機(jī)晶圓鍵合對(duì)準(zhǔn)機(jī)鍵合對(duì)準(zhǔn)機(jī)鍵合對(duì)準(zhǔn)機(jī)價(jià)格
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
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EVG540-晶圓鍵合自動(dòng)化系統(tǒng)
應(yīng)用:全自動(dòng)晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī)),適用于大300 mm的基板
一、簡(jiǎn)介
EVG540自動(dòng)化晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))是一種自動(dòng)化的單腔室生產(chǎn)鍵合機(jī),設(shè)計(jì)用于中試線生產(chǎn)以及用于晶圓級(jí)封裝,3D互連和MEMS應(yīng)用的大批量生產(chǎn)的研發(fā)。EVG540基于模塊化設(shè)計(jì),為我們未來(lái)的晶圓鍵合工藝從研發(fā)到大規(guī)模生產(chǎn)的全集成生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)過(guò)渡提供了可靠的解決方案。
EVG540-晶圓鍵合自動(dòng)化系統(tǒng)
二、特征
單室鍵合機(jī)(晶圓鍵合機(jī)),大基板尺寸為300 mm
與兼容的SmartView 和MBA300
自動(dòng)處理多達(dá)四個(gè)鍵合卡盤(pán)
符合高安全標(biāo)準(zhǔn)
三、技術(shù)數(shù)據(jù)
(晶圓鍵合機(jī))大加熱器尺寸300毫米
裝載室使用2軸機(jī)器人
高 鍵合室2個(gè)