日本tekhne密閉的露點計，SF6純度測量儀MBW973-SF6

特征

• 抽查

• 
  

• SF6氣體的露點控制

• 氣體變壓器/氣體斷路器

• 氣體絕緣開關(guān)柜

• 半導(dǎo)體和液晶面板的干法蝕刻工藝

• SF6氣體回收再利用

主要用途

• SF6變壓器/氣體斷路器的純度和露點測量

日本tekhne密閉的露點計，SF6純度測量儀MBW973-SF6

特點

環(huán)保測量儀

SF6（六氟化硫）氣體是一種溫室氣體，其溫室氣體排放目標(biāo)是《京都議定書》設(shè)定的，據(jù)說其溫室效應(yīng)約為每單位體積CO 2的 23,400倍。SF6氣體在斷路器，變壓器，半導(dǎo)體工藝等中用作絕緣氣體。為了保持其絕緣性，必須測量水含量和SF6純度。
另一方面，迄今為止，在日本，在測量時將其釋放到大氣中，或者在不釋放的情況下以高成本進行收集和分解是很普遍的。通過使用MBW973-SF6，可以將測得的SF6氣體按原樣返回原始設(shè)備，而不會釋放到大氣中，并將大氣排放降低到零。

高精度測量

迄今為止，由于容易獲得，因此一直使用電容類型。另一方面，MBW973-SF6使用高精度鏡面法進行露點和純度測量，并可以以高響應(yīng)速度執(zhí)行±0.5°C和0.5％的高精度測量，并且隨時間的推移幾乎沒有劣化。是。通過使用該設(shè)備，可以大大減少操作員的工作時間，并且可以輕松地執(zhí)行可靠的測量。

SO 2測量選項

SF6氣體與水反應(yīng)以純化HF氣體和SO 2氣體。MBW973-SF6 能夠測量0-100ppm或0-500ppm范圍內(nèi)的SO 2。該傳感器使用電化學(xué)電池，并且可以以滿量程的±2％的精度進行測量。