化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>去膠機(jī)>PLASMA 微波等離子清洗機(jī) 半導(dǎo)體去膠設(shè)備
PLASMA 微波等離子清洗機(jī) 半導(dǎo)體去膠設(shè)備
- 公司名稱 煙臺(tái)金鷹科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) PLASMA
- 產(chǎn)地 招遠(yuǎn)市高新開(kāi)發(fā)區(qū)招金路518號(hào)
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/10 20:11:44
- 訪問(wèn)次數(shù) 1260
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微波等離子清洗機(jī)實(shí)現(xiàn)清潔、活化去膠、刻蝕功效
臺(tái)式微波等離子去膠機(jī)采用高密度2.45GHZ微波等離子技術(shù),用于集成電路、半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清潔去膠、硅片去除污染物和氧化物、提高粘接率,微波等離子體清洗、去膠機(jī)能夠?qū)ξ⒖?、狹縫等細(xì)小的空間進(jìn)行處理,具有高度活性、效率高,且不會(huì)對(duì)電子裝置產(chǎn)生離子損害。 通過(guò)工藝驗(yàn)證,微波等離子清洗機(jī)降低了接觸角度,提高了引線鍵合強(qiáng)度。
微波等離子清洗機(jī) 半導(dǎo)體去膠設(shè)備去除光刻膠、電路板去膠,提升材料表面的親水性、附著力、粘接力
微波等離子清洗機(jī) 半導(dǎo)體去膠設(shè)備對(duì)電路板、外延片、晶圓、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除。適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜。
等離子清洗機(jī)器的應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光致抗蝕劑/聚合物剝離、芯片碰撞、靜電消除、介質(zhì)蝕刻、有機(jī)污染去除、芯片減壓等。使用等離子清洗機(jī)不僅能去除光致抗蝕劑和其他有機(jī)物質(zhì),而且可以活化和增厚芯片表面,提高芯片表面的潤(rùn)濕性,使芯片表面更有粘合力。
微波等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體封裝工藝中的應(yīng)用:1. 防止包封分層2. 提高焊線質(zhì)量3. 增加鍵合強(qiáng)度4. 提高可靠性,尤其是多接口的高級(jí)封裝
微波等離子清洗機(jī)作為一種綠色無(wú)污染的高精密干法清洗方式,能有效去除表面污染物,避免靜電損傷