EmiosAT-1500 非接觸式膜厚儀
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 大塚電子（蘇州）有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大冢
- 型號 EmiosAT-1500
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2020/6/16 10:58:15
- 訪問次數(shù) 2338
產(chǎn)品標簽
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zeta電位?粒徑?分子量測量系統(tǒng)，晶圓在線測厚系統(tǒng)，線掃描膜厚儀，顯微分光膜厚儀，線掃描膜厚儀，分光干涉式晶圓膜厚儀，相位差膜?光學(xué)材料檢測設(shè)備，非接觸光學(xué)膜厚儀，小角激光散射儀，多檢體納米粒徑量測系統(tǒng)，量子效率測量系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 20萬-50萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,能源,電子,汽車 |
非接觸式膜厚儀Eimos設(shè)備操作簡單，放置樣品即可測量的。一步到位。
縮短檢查工程，無標準曲線，精度高，分辨率高，輕松測量樣品的厚度。
光學(xué)方式為大冢電子*，不僅外形小巧，無論透明、粗糙還是易變形的樣品，都可以實現(xiàn)非接觸式的高精度測量。
非接觸式膜厚儀特點：
- 非接觸式測量不透明、粗糙，易變形的樣品
- 反復(fù)性，再現(xiàn)性高
- 無標準曲線也可知道厚度
- 測量徑很小，不受斑點的影響
- 樣品位置無需調(diào)整，放進去即可。
- 穩(wěn)定性高，不會產(chǎn)生誤差，所以誰都能操作。
- 光學(xué)方式原理所以安全
式樣
| AT-1500 | |
| 厚度范圍 | 10μm~1.5mm |
| 重復(fù)性 | 0.1μ(2σ)以下(測量1nm的guage black) |
| 樣品尺寸 | 小Φ10mm，大100mm (測量位置在中間部) |
| 測量徑 | 約50μm |
| 測量時間 | 1秒以下 |
| 裝置尺寸·重量 | W300×D364×H400(mm)·20(kg) (本體部：開發(fā)過程中可能發(fā)生變更) |
| 電源 | AC100-220V/200V |
構(gòu)成圖/原理
1)構(gòu)成圖
任何人都會使用大塚電子非接觸式光學(xué)膜厚儀 Eimos進行測量
2)原理
將光分別照射樣品上下部
測量距離基準面的距離。
d=dall-(d1+d2)
比較測量方法
樣品例子和測量方法的比較
| 非接觸光學(xué)膜厚儀 | 接觸式膜厚儀 | X線式膜厚儀 | 変位計 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 樣品 | 凝膠片 | ○ | × | ○ | ○ |
| 不織布 | ○ | × | ○ | × | |
| 金屬板 | ○ | ○ | ○ | ○ | |
| 樹脂 | ○ | ○ | ○ | ○ | |
| 多孔質(zhì) | ○ | △ | ○ | × | |
| 陶瓷 | ○ | ○ | ○ | × | |
| 紙?木 | ○ | ○ | ○ | × | |
| 測量 條 件 | 測量時間 | ○ 高速 | ○ | ○ | ○ |
| 非接觸測量 | ○ 非接觸 | × | ○ | ○ | |
| 前處理 | ○ 不要 | ○ | × | ○ | |
測量案例
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