技術(shù)參數(shù)

1、機臺整機規(guī)格

2120(W)×1800(D)×2000H)  mm

2、真空室規(guī)格

進口合金鋁1140(W)×1500（D)×1130(H)   mm

3、電極板規(guī)格

進口美鋁950H×1230D mm

4、真空電極結(jié)構(gòu)

垂直電極板16層，可處理15層工件

5、真空泵系統(tǒng)

Hanbell干式真空機組

6、真空測定系統(tǒng)

高精密薄膜硅真空計

7、真空供氣系統(tǒng)

Ф6全不銹鋼管+不銹鋼鎖套管路

8、真空排氣系統(tǒng)

全不銹鋼管路+波紋管

9、破真空系統(tǒng)

倒計時自動開合啟動

10、PLC自動控制系統(tǒng)

德國西門子200SMART-PLC及擴展模塊(D/A轉(zhuǎn)換、A/D轉(zhuǎn)換、溫度控制）

11、人機工控系統(tǒng)

MCGS觸屏工控電腦

12、變頻控制系統(tǒng)

德國SIEMENS，PID閉環(huán)控制，真空度可維持

13、機臺冷卻系統(tǒng)

SKYTECK冰水機水冷，采用內(nèi)部獨立中通冰水循環(huán)冷卻系統(tǒng)

14、溫度控制系統(tǒng)

德國西門子200SMART溫度傳感模塊，PID閉環(huán)控制，作業(yè)過程溫度可控

15、冰水機

國產(chǎn)品牌5.0P

16、輸入氣壓監(jiān)測系統(tǒng)

5路 日本SMC自動報警氣壓表（帶過濾裝置）

17、氣體控制系統(tǒng)

5路 日本SMC電磁閥門

18、氣體計量系統(tǒng)

SevenStar- MFC氣體質(zhì)量流量計精確控制流量

19、等離子發(fā)生器

額定功率：0-20KW,全自動匹配

20、其他組件

國內(nèi)外元器件

機臺*之條件

1、壓縮空氣要求

0.6～0.8MPa

2、循環(huán)冷卻水用量

3～7 SLM

3、抽風系統(tǒng)

≥2立方/分鐘，中央尾氣處理管道即可

技術(shù)指標

1、機臺總重

約2500KG

2、額定功率

額定功率45KW

3、機臺供電

三相五線式 AC 380V  50/60Hz

4、腔體容積

1140(W)×1500（D)×1130(H)    mm

5、電極板數(shù)量

垂直極板16層

6、處理層數(shù)及托架

15層

7、單層處理大面積

950(H)×1230(D )mm

8、單次處理總面積

約7M2

9、單次處理時間

10-60分鐘不等（根據(jù)產(chǎn)品特征，時間設(shè)定不同）

10、工作真空度

0.15～0.3Torr （可根據(jù)要求設(shè)定，可恒定真空度）

11、泵可抽極限壓力

4.0X10-1Torr

12、抽真空時間

≤180秒

13、破真空時間

≤60秒

14、等離子發(fā)生器功率

額定功率20KW；0-20KW自動設(shè)定調(diào)節(jié)，全自動匹配

15、等離子發(fā)生器頻率

40KHz±100Hz

16、供氣方式

高壓瓶裝氣體14MPa，減壓至0.1-0.3MPa

17、流量計調(diào)節(jié)范圍

0-1000毫升/分鐘，0-3000毫升/分鐘；全自動調(diào)節(jié)

18、溫度控制調(diào)節(jié)范圍

5匹速冷，30-85℃可調(diào)