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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>電子顯微鏡>聚焦離子束顯微鏡(FIB)>FERA XM TESCAN 聚焦離子束-掃描電鏡 FERA XM

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FERA XM TESCAN 聚焦離子束-掃描電鏡 FERA XM

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) FERA XM
  • 產(chǎn)地 捷克
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間 2024/9/25 12:00:09
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 996
產(chǎn)品標(biāo)簽

TESCAN聚焦離子束掃描電鏡FERA電鏡

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公司自成立以來(lái)就一直專(zhuān)注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富的專(zhuān)業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),專(zhuān)業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進(jìn)封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測(cè)、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶(hù)提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶(hù)的實(shí)際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶(hù)提供先進(jìn)的設(shè)備和專(zhuān)業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

 

半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測(cè)設(shè)備

二次電子圖象分辨率 3.5nm(30kV),nm 放大倍數(shù) 3×~1,000,000x
加速電壓 200V至30kVkV 價(jià)格區(qū)間 300萬(wàn)-400萬(wàn)
儀器種類(lèi) 熱場(chǎng)發(fā)射

 聚焦離子束(Xe)掃描電鏡 FERA

FERA3 XM是一款由計(jì)算機(jī)全控制的Xe等離子聚焦離子束(i-FIB)場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(tǒng) (GIS),可在高真空和低真空模式下工作,其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟和用戶(hù)界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點(diǎn)。基于Windows™平臺(tái)的操作軟件提供了簡(jiǎn)易的電鏡操作和圖像采集,可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片,可以對(duì)圖像進(jìn)行管理、處理和測(cè)量,實(shí)現(xiàn)了電鏡的自動(dòng)設(shè)置和許多其它自動(dòng)操作。

  • 概述
  • 軟件
  • 技術(shù)規(guī)格
  • 配件
  • 圖片
  • 其他

分析潛力

  • 高亮度肖特基發(fā)射可獲得高分辨率,高電流和低噪聲的圖像
  • 選配的In-Beam二次電子探頭可獲取超高分辨率圖像
  • 三透鏡大視野觀(guān)察(Wide Field Optics™)設(shè)計(jì)提供了多種工作模式和顯示模式,體現(xiàn)了TESCAN*可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì)
  • 結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™)可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化
  • 成像速度快
  • 低電壓下的電子束減速模式(Beam Deceleration Technology – BDT)可獲取高分辨率圖像(選配)
  • In-Beam背散射電子探頭,用于在小工作距離下得BSE圖像(選配),甚至適合鐵磁性樣品
  • 全計(jì)算機(jī)化優(yōu)中心電動(dòng)載臺(tái)設(shè)計(jì)優(yōu)化了樣品操控
  • *的幾何設(shè)計(jì)更適合安裝能譜儀(EDX)、波譜儀(WDX)、背散射電子衍射儀(EBSD)
  • 由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和干式前置真空泵,因而可以很快達(dá)到電鏡的工作真空。電子槍的真空由離子泵維持。
  • 自動(dòng)的電子光路設(shè)置和合軸
  • 網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程控制/診斷軟件
  • 3維電子束技術(shù)提供實(shí)時(shí)立體圖像
  • 低真空模式下樣品室真空可達(dá)到500Pa用于觀(guān)測(cè)不導(dǎo)電樣品
  • *的離子差異泵(2個(gè)離子泵)使得離子散射效應(yīng)超低
  • 聚焦離子束鏡筒內(nèi)有馬達(dá)驅(qū)動(dòng)高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器
  • 聚焦離子束的標(biāo)配包括了電子束遮沒(méi)裝置和法拉第筒
  • 高束流下超高的銑削速度和的性能
  • FIB切割、信號(hào)采集、3維重構(gòu)(斷層攝影術(shù)),3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化


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