接觸式干涉儀計量儀的應用極為廣泛，主要有如下幾方面：
長度測量
在接觸式干涉儀計量儀中，若介質折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動數(shù)可進行長度的精確比較或測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-干涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示米。
折射率測定
兩光束的幾何路程保持不變，介質折射率變化也可導致光程差的改變，從而引起條紋移動。瑞利干涉儀就是通過條紋移動來對折射率進行相對測量的典型干涉儀。應用于風洞的馬赫-秦特干涉儀被用來對氣流折射率的變化進行實時觀察。
波長的測量
任何一個以波長為單位測量標準米尺的方法也就是以標準米尺為單位來測量波長的方法。以米為標準，利用干涉儀可精確測定光波波長。法布里-干涉儀（標準具）曾被用來確定波長的初級標準（鎘紅譜線波長）和幾個次級波長標準，從而通過比較法確定其他光譜線的波長。