EFC270 蝕刻殘留物去除劑
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) EFC270
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2019/1/17 13:18:44
- 訪問次數(shù) 4641
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供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 規(guī)格 | 1加侖1瓶 |
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貨號(hào) | EFC270 | 主要用途 | 接觸清潔 , 金屬線清潔,TSV深硅穿孔清潔等 |
杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除
特點(diǎn):
制定zui jia的金屬堆棧完整性
“改進(jìn)”寬窗口處理能力
強(qiáng)化蝕刻殘余物去除
清洗的掩膜減少化學(xué)殘留
超大規(guī)模集成電路(ULSI)級(jí)規(guī)格*進(jìn)封裝清洗
工作溫度下蒸發(fā)速率低
應(yīng)用:
應(yīng)用EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè),以滿足關(guān)鍵的清潔需求
從高深寬比MEMS器件100μm+ 到*進(jìn)DRAM 的70nm集成的各個(gè)階段
下面列出了常見的應(yīng)用程序:
接觸清潔
金屬線清潔
TSV深硅穿孔清潔
鎢埋位線清洗
聚酰亞胺清洗
Pad清潔
MEMS清洗