大型等離子簡介：適用于PCB生產(chǎn)行業(yè)，此外應用于處理大型及復雜結構的工件。

真空系統(tǒng)泵采用無油前級泵加羅茨泵泵組結構，即保證抽速，又保證腔體潔凈度，同時無油泵例如爪式干泵易維護、噪聲小、抽速快，相對于部分耐腐蝕的油泵來說，其維護以及運作成本大大降低，同時該泵是適合于強氧化氣體及含氟離子的特殊環(huán)境下工作的，大大提高泵體的壽命，羅茨泵的使用，是為在真空度低于1000帕時提高抽速，使之更快達到工作壓強，既分擔了單一泵體的工作壓力，又提高了效率。

自動控制系統(tǒng)，采用PLC進行全程控制，性能穩(wěn)定，功能全面， 人機界面友好，采用12.1或10.4英寸觸摸屏；或采用PC加顯示器進行控制，可設定工藝過程參數(shù)，可對大量實時數(shù)據(jù)進行采集記錄、打印，還具備事件報警，配方儲存，數(shù)據(jù)報表等強大功能，可用PID模式自動控制真空度、極板溫度等。

供氣系統(tǒng)，采用5路氣體質(zhì)量流量計，分別用來控制不同的氣體，通過一定的技術處理，使用戶在計算機操作平臺上可以方便的置入工藝生產(chǎn)中所需的氣量。另外我們的供氣管道采用了進口的高精度拋光不銹鋼管，內(nèi)壁光滑、氣阻小，氣體的流量更加穩(wěn)定可靠。

電極系統(tǒng)，該設計對等離子激發(fā)空間均勻性大大改善，在同一平面上等離子刻蝕清洗的速率更加*，控制電力參數(shù)由系統(tǒng)結構設計獲得，并能很好的控制電極的溫度均一性，總之，電極整套體系的結構及與之交互作用的參數(shù)的合時控制，使電極對等離子的可控性大大提高。豎直電極的設計加上工件架的配合使用，使不同板材的PCB可以方便、安全可靠地放于電極之間，使電極間空間利用率達到大。

水平電極的設計可以根據(jù)現(xiàn)場需要調(diào)整電極板間距，以適用于不同外形尺寸的工件放置，靈活多樣而又保持一定的組合形式。保證質(zhì)量且提高了效率。 根據(jù)不同的電極結構，我們設計、制造了多種不同的工件架，分別應用于硬紙板材和軟質(zhì)板。

工件架的特點，裝卸方便、安全可靠，適合各種規(guī)格板材的擺放，保證了生產(chǎn)效率。工件架的設計結合了電極的結構，將電極之間的空間利用率達到高。 尾氣處理系統(tǒng)采用了水吸收HF的方式，并且在水中加入了弱堿進行中和反應，避免對環(huán)境造成二次污染