劃片機(jī)-材料設(shè)備
- 公司名稱(chēng) 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/8/28 6:57:47
- 訪問(wèn)次數(shù) 1656
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光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開(kāi)爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測(cè)量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測(cè)試系統(tǒng)
劃片機(jī)-材料設(shè)備
Scribe100劃片機(jī)是一款設(shè)計(jì)用于劃割和分離微型元件,諸如GaAs和Si晶圓的設(shè)備。該設(shè)備可以按序劃割和分離晶圓等,并且保證元件整潔和完整無(wú)傷。
在分離時(shí),Scribe100使用聚酯薄膜層來(lái)托住元件同時(shí)線型刀沿著中心線升高以便分離。薄膜層幫助元件阻攔污染或重壓。全部參數(shù)都由控制鍵盤(pán)設(shè)定。這是一款穩(wěn)定,抗振動(dòng),和易操作的設(shè)備。
劃片機(jī)-材料設(shè)備
劃片刀頭
角度可調(diào)Z向運(yùn)動(dòng)
劃割力可調(diào):3gr-100gr,。恒定重量
金剛石工具:角度和旋轉(zhuǎn)是可調(diào)的
帶十字線的工具補(bǔ)償
晶圓臺(tái)
晶圓支架:最大4英寸
元件尺寸:最小200um
晶圓厚度:80um以上
手動(dòng)旋轉(zhuǎn):90度
螺旋儀調(diào)整旋轉(zhuǎn)合軸
XY位移臺(tái)/顯示分辨率1um
運(yùn)動(dòng)方向可控
觀測(cè)系統(tǒng)
匹配應(yīng)用范圍的光學(xué)放大
合軸:程序控制或手動(dòng)
17寸TFT顯示器和高精度彩色攝像頭
目標(biāo)產(chǎn)生器
LED光源
分離
分離模式:手動(dòng)控制或自動(dòng)控制
分離模式:使用頂部聚酯薄膜層和底部切割刀
聚酯薄膜:可移除以便預(yù)防污染
基于應(yīng)用需求的可調(diào)提供多層頂部聚酯層方案
可設(shè)定參數(shù)
步進(jìn)參數(shù)和垂直間隔
Y劃割速度可調(diào),0.1-20mm/sec。
程序化控制劃割長(zhǎng)度
重復(fù)性劃割
劃割總次數(shù)
元件總數(shù)
底部接觸速度
劃割計(jì)數(shù)
安裝要求
電源:230VAC,0.5kW
壓縮空氣:70psi
真空度:60%
尺寸:450mm&700mm*500mm
重量:80kg