NIM-4000(A)全自動離子銑刻蝕
產地類別 | 進口 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產業(yè),電子,制藥 |
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IBM離子銑
NIM-4000(A)全自動離子銑刻蝕產品概述:利用離子束轟擊固體表面的濺射作用,剝離加工各種幾何圖形,通過大面積離子源產生的離子束,可對固體材料濺射刻蝕,對固體器件進行微細加工。該系統為全自動上下載片,計算機全自動控制的系統。
NANO-MASTER技術已經證明了可以把基片溫度控制在50° C以內的同時,旋轉晶圓片以達到想要的均勻度。
NIM-4000(A)全自動離子銑刻蝕產品特點:
- 14.5”不銹鋼立體離子束腔體
- 16cm DC離子槍1200eV,650mA, 氣動不銹鋼遮板
- 離子束中和器
- 氬氣MFC
- 6”水冷樣品臺
- 晶片旋轉速度3、10RPM,真空步進電機
- 步進電機控制晶圓片傾斜
- 自動上下載晶圓片
- 典型刻蝕速率:銅200 ?/min, 硅:500 ?/min
- 6”范圍內,刻蝕均勻度+/-3%
- 極限真空5x10-7Torr,20分鐘內可達到10-6Torr級別(配套500 l/s渦輪分子泵)
- 配套1000 l/s渦輪分子泵,極限真空可達8x10-8Torr
- 磁控濺射Si3N4以保護被刻蝕金屬表面被氧化
- 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
- 菜單驅動,4級密碼訪問保護
- 完整的安全聯鎖