美國(guó)產(chǎn)SEM動(dòng)態(tài)原位納米壓痕儀InSEM 

    InSEM是用于原位真空環(huán)境下，如SEM或FIB，表征材料表面或結(jié)構(gòu)的機(jī)械性能的儀器，具有亞納米級(jí)的分辨率。SEM/FIB真空環(huán)境被稱為未來的實(shí)驗(yàn)室。在這個(gè)微觀環(huán)境下，任何測(cè)試都有*的特性，如果沒有SEM的定位和微觀成像，許多應(yīng)用都無法實(shí)現(xiàn)。InSEM使得在SEM環(huán)境下進(jìn)行高分辨率的機(jī)械行為測(cè)試。 

主要特點(diǎn)：

1.模塊設(shè)計(jì)靈活性高

InSEM為模塊化設(shè)計(jì)，具有高適應(yīng)性，能夠適用于各種應(yīng)用。InSEM能安裝于各種SEM腔體上的接口或直接安裝在SEM臺(tái)上。

2.*的連續(xù)硬度動(dòng)態(tài)測(cè)量功能

連續(xù)硬度測(cè)量功能可以直接采集壓入過程中的每個(gè)載荷和位移數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)壓入深度的接觸剛度、進(jìn)而計(jì)算出硬度與彈性模量等力學(xué)性能作為壓入深度的連續(xù)函數(shù)。

3.數(shù)據(jù)采集快捷方便

高速數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，通過鼠標(biāo)就可以實(shí)時(shí)切換測(cè)量參量（載荷、位移、硬度、彈性模量和接觸硬度等）；可將所有測(cè)試數(shù)據(jù)輸出為Excel格式，同時(shí)顯示二維或三維圖像。

主要參數(shù)：

a) 壓頭總的位移范圍 ?70um

b) 位移分辨率   ?0.0002nm

c) 位移的噪音水平   ?0.1nm

d) 加載模式 電磁力加載

e) 位移測(cè)量 電容位移傳感器

f) 常規(guī)載荷 ?30mN

g) 載荷分辨率   3nN

應(yīng)用領(lǐng)域：

應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了各種表面保護(hù)和涂層、多相材料和復(fù)合材料、生物材料、MEMS/NEMS器件、半導(dǎo)體領(lǐng)域、高分子、陶瓷、玻璃等。主要用于金屬及非金屬材料和薄膜的真空環(huán)境下靜態(tài)動(dòng)態(tài)原位納米壓痕力學(xué)性能測(cè)試和物性參量測(cè)量試驗(yàn)。