創(chuàng)新點(diǎn)

1.保護(hù)MyAutoView的光斑可視功能,可對薄膜樣品直接觀測測量光斑和樣品表面,簡單直接,提高測量精確度。直接觀測測量點(diǎn),可極快地準(zhǔn)確判斷測量點(diǎn)位置,避免光斑落在污點(diǎn)處,同時對于有圖形的薄膜，配合自動平臺，可以準(zhǔn)確地定位微光斑，快速地進(jìn)行橢偏測量。 2.全自動樣品水平調(diào)整系統(tǒng),可自動找平測量表面,使測量更簡單。 3.Uvisel 2采用反射式結(jié)構(gòu)(無色差)微光斑技術(shù),對于激發(fā)波長均保證光斑大小相同。8種光斑尺寸,包括目前世界上zui小的35um無色差微光斑,*地提供了空間分辨率。 4.190-1000nm分光系統(tǒng)采用雙級單色儀,具有更高的雜散光抑制率,有效減少測量時間,保證數(shù)據(jù)在高精度,高信噪比下快速測量。 5.采用新的雙級分光系統(tǒng)和電學(xué)反饋系統(tǒng),使整體測量速度大幅提高,190-1000nm僅需60秒就可得到高精度,高分辨率測試結(jié)果,190-2100nm范圍僅需5分鐘。

儀器介紹：     

     UVISEL2是一款*革新的全自動光譜型橢偏儀。繼承并發(fā)展了經(jīng)典機(jī)型UVISEL的高準(zhǔn)確性、高靈敏度和高穩(wěn)定性等技術(shù)特點(diǎn)的同時，配備革新的可視系統(tǒng)，多達(dá)8個尺寸微光斑選項(xiàng)，zui小達(dá)35×85μm2，適用于所有薄膜材料研究領(lǐng)域。是目前市場上*的機(jī)型。

技術(shù)參數(shù)：

·光譜范圍：190-2100 nm

·8種光斑尺寸: zui小35 X 85 um

·探測器：3個獨(dú)立探測器，分別優(yōu)化紫外，可見和近紅外

·自動樣品臺尺寸：200mm X 200mm；XYZ方向自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

·樣品水平度自動調(diào)整

·自動量角器：變角范圍35°- 90°，全自動調(diào)整，zui小步長0.01°

主要特點(diǎn)：

·*自動化設(shè)計(jì)，自動對焦、校正

·全新光路、電路設(shè)計(jì)，測量精度更高，速度更快

·50KHz高頻PEM相調(diào)制技術(shù)，測量光路中無運(yùn)動部件

·雙光柵光譜儀系統(tǒng)，雜散光抑制水平高

·8個尺寸微光斑，可視技術(shù)

·自動平臺樣品掃描成像